微小(xiao)氣體流量計FS4001

産(chan)品時間：2025-12-01

簡要描(miao)述：

微小氣體流(liú)量計FS4001專門爲各(gè)類小流量氣體(tǐ)的測量和過🛀程(cheng)控制而設計的(de)。這一系列傳感(gan)器均采用本公(gōng)司🌏自主研發的(de)微機電系統（MEMS）流(liu)量傳感芯片來(lai)制作，适用于各(gè)類清潔氣體。*的(de)封㊙️裝技術使之(zhi)可用于各類管(guǎn)徑🥵，成本低、易安(ān)裝、不需要溫度(dù)壓力補償，可替(tì)代容積式☂️或壓(yā)差式的傳統流(liú)量傳感器。

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詳細介紹

微小(xiao)氣體流量計FS4001 産品簡介：
FS4001 系列小流量(liàng)氣體質量流量(liàng)傳感器是廣州(zhou)迪川儀器儀表(biao)有限公司專門(men)爲各類小流量(liàng)氣體的測量和(he)過程控制而設(shè)計的。這一系列(liè)傳感器均采用(yòng)本公司自主研(yán)發的微機電系(xì)統🍉（ MEMS ）流量傳(chuan)感芯片來制作(zuò)，适用于各類清(qīng)潔氣體。*的封裝(zhuāng)技術使之⭕可用(yong)于各類管徑，成(cheng)本低、易安裝、不(bú)需要溫度壓力(lì)補償，可替代容(róng)積式或壓差式(shi)的傳統流量傳(chuán)感器。
微小氣體(tǐ)流量計FS4001 産(chǎn)品特點：
- 傳(chuán)感器靈敏度高(gāo) , 有極小的(de)始動流量
- 傳感器芯片采(cai)用熱質量流量(liang)計量 , 無需(xū)溫度壓力補償(cháng) , 保證了傳(chuan)
- 感器的高(gao)精度計量
- 在單個芯片上(shàng)實現了多傳感(gǎn)器集成 , 使(shǐ)傳感器的量程(chéng)比大大提高
- 傳感器的零(ling)點穩定度高
- 全量程高穩(wen)定性
- 全量(liang)程高精度和優(yōu)良的重複性
- 低功耗
- 低壓損
- 響(xiǎng)應時間快
主要(yao)參數： FS4001系列微小(xiao)流量計

性(xìng)能參數	FS4001		單(dān)位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量(liàng)	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程比	2132132132131231312100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重複性	0.25		% 讀數
零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線性， RS232/ 模拟(nǐ)電壓 0.5~4.5Vdc
大流(liú)量壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH （無結冰、無凝露(lù)）
機械接口(kǒu)	可拆式軟(ruan)管接頭
校(xiao)準方式	空(kōng)氣（或其他氣體(ti)）， 20oC ， 101.325kPa
重量(liàng)	15		g

FS4001系列微小流量(liàng)計訂貨詳(xiáng)情請： 85628522

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