産品時(shí)間：2025-12-01
FS4001系列測量氣(qì)體流量傳感(gǎn)器是專門爲(wei)各類小流量(liàng)😍氣體的測量(liang)和過程控制(zhì)而設計的。這(zhè)一系列傳感(gǎn)🧑🏾🤝🧑🏼器均采用本(běn)公司自主研(yan)發的微機電(diàn)系統（MEMS）流量傳(chuán)感芯片☎️來制(zhì)作，适用于🚶♀️各(gè)類清潔氣體(ti)。
簡介：
FS4001系(xì)列測量氣體(tǐ)流量傳感器(qì) 是專門(men)爲各類小流(liu)量氣體的測(ce)量和過程控(kong)制而設計的(de)。這一☀️系列傳(chuán)感器均采用(yong)本公司自主(zhǔ)研發的微機(ji)電系統（ MEMS
FS4001系(xi)列測量氣體(ti)流量傳感器(qì) 适用于(yú)各類清潔氣(qì)體。*的封裝技(jì)術使之可用(yong)于各類管徑(jìng)‼️，成本低、易安(ān)裝、不需要溫(wen)度壓力補償(chang)，可替代容積(jī)式🍉或壓差式(shì)的傳統流量(liàng)傳感器。
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傳感(gan)器靈敏度高(gāo)
,
有極小(xiao)的始動流量(liàng)
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傳感器(qi)芯片采用熱(rè)質量流量計(jì)量
,
無需(xū)溫度壓力補(bu)償
,
保證(zhèng)了傳
在(zài)單個芯片上(shàng)實現了多傳(chuan)感器集成
使傳感器(qi)的量程比大(dà)大提高
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傳感器的零(líng)點穩定度高(gāo)
全量程(cheng)高穩定性
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低壓損(sǔn)
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FS4001 |
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通(tong) 徑 |
1.0 |
1.8 |
mm |
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大流量 |
30, 100, 200 |
500, 1000 |
SLPM |
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量(liàng)程比 |
>100：1 |
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精 度 |
% |
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0.25 |
%讀數 |
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±30 |
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±0.12 |
%/oC |
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mses |
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線性，RS232/模拟(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量(liàng)壓損 |
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300 |
pa |
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工作溫(wēn)度 |
-10 ~ +55 |
oC |
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-20 ~ +65 |
oC |
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<95%RH（無(wú)結冰、無凝露(lù)） |
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可(kě)拆式軟管接(jie)頭 |
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校準方式(shi) |
空氣（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa |
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g |
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