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mf4001廣東(dong)微小口(kǒu)徑氣體(tǐ)質量流(liú)量計

産(chan)品時間(jian)：2025-12-01

mf4001廣東(dong)微小口(kou)徑氣體(ti)質量流(liú)量計是(shi)專門爲(wei)各類小(xiao)流量氣(qi)體的測(ce)量和過(guo)程控制(zhi)而設計(jì)的。這一(yī)系列傳(chuán)感💛器均(jun1)采用本(běn)公司自(zi)💜主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳(chuan)感芯片(piàn)來制作(zuo)，适用于(yú)各類清(qīng)潔氣體(tǐ)。*的封裝(zhuang)技術使(shǐ)之可用(yòng)于各類(lei)管徑，成(chéng)本低、易(yi)安裝、不(bu)需要‼️溫(wen)度壓力(li)補償，可(kě)替代容(róng)積式或(huo)壓差☎️式(shì)的傳統(tong)流量傳(chuán)感器。

詳細(xi)介紹

mf4001廣(guǎng)東微小(xiao)口徑氣(qi)體質量(liàng)流量計(jì) 産(chan)品特點(diǎn)：
- 傳(chuan)感器靈(líng)敏度高(gao) , 有(you)極小的(de)始動流(liú)量
- 傳感器(qi)芯片采(cǎi)用熱質(zhi)量流量(liang)計量 , 無需(xu)溫度壓(yā)力補償(chang) , 保(bao)證了傳(chuán)
- 感(gan)器的高(gāo)精度計(ji)量
- 在單個(ge)芯片上(shang)實現了(le)多傳感(gǎn)器集成(chéng) , 使(shi)傳感器(qi)的量程(chéng)比大大(da)提高
- 傳感(gǎn)器的零(ling)點穩定(dìng)度高
- 全量(liàng)程高穩(wěn)定性
- 全量(liàng)程高精(jīng)确度和(hé)優良的(de)重複性(xing)
- 低(di)功耗
- 低壓(yā)損
- 響應時(shi)間快

mf4001廣(guǎng)東微小(xiǎo)口徑氣(qi)體質量(liang)流量計(jì) 機(jī)械尺寸(cun)：

主要(yào)參數：

性(xìng)能參數(shu)	FS4001		單位
通(tong) 徑	1.0	1.8	mm
大流(liú)量	30, 100, 200	500, 1000	SLPM
量程(cheng)比	>100：1
精度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重複性(xing)	0.25		%讀數
零(ling)點輸出(chu)飄移	±30		mV
輸(shū)出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時(shi)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作(zuo)電源	8~18Vdc,50mA
輸(shū)出方式(shi)	線性，RS232/模(mo)拟電壓(yā)0.5~4.5Vdc
大流量(liang)壓損	350	300	pa
大(dà)工作壓(yā)力	0.5		MPa
工作(zuò)溫度	-10 ~ +55		oC
存(cun)儲溫度(du)	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無結(jie)冰、無凝(ning)露）
機械(xiè)接口	可(kě)拆式軟(ruan)管接頭(tóu)
校準方(fāng)式	空氣(qì)（或其他(tā)氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g

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